RIE刻蝕機，又叫等離子蝕刻機、等離子平面刻蝕機、等離子體刻蝕機、等離子表面處理儀、等離子清洗系統等。等離子刻蝕，是干法刻蝕中常見的一種形式，其原理是暴露在電子區域的氣體形成等離子體，由此產生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體，從而形成了等離子或離子，電離氣體原子通過電場加速時，會釋放足夠的力量與表面驅逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。某種程度來講，等離子清洗實質上是等離子體刻蝕的一種較輕微的情況。
RIE刻蝕機的原理與激光打標機相同，即通過高能量的激光光束照射到材料表面使其瞬間氣化形成圖案、文字等。而與打標機相比要求的精度更高，對材料表面的加工精度要求也更高，通常激光刻蝕機用在觸摸屏行業內的ITO刻蝕，銀漿刻蝕等。
在早些年前RIE刻蝕機在行業內幾乎都統稱為觸摸屏激光刻蝕機，在觸摸屏行業內得到了廣泛應用，手機電阻屏、電容屏的發展也讓激光刻蝕機廠家發展發生了質的變化，主要體現為ITO玻璃激光刻蝕、銀漿玻璃激光刻蝕等，也有一部分是ITO薄膜與銀漿薄膜刻蝕。
而隨著手機行業的發展，OLED的崛起，觸摸屏行業的激光刻蝕設備逐漸呈現飽和趨勢，RIE刻蝕機廠家也隨之加大對材料應用的研發投入和應用方向的投入，太陽能、光伏行業將會成為激光刻蝕機下一個重要發展領域。
太陽能光伏行業的一些采用應用包括金屬合金薄膜材料，如鋁薄膜，銅薄膜，鎘薄膜，合金薄膜等。也有一些玻璃鍍層和特殊材料鍍層的應用，如碳納米玻璃材料應用，下面是一些光伏行業玻璃/薄膜激光刻蝕樣品介紹。
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更新時間：2019-04-16 
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